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名稱:八氟環(huán)丁烷      型號(hào):

八氟環(huán)丁烷C4F8

 

簡介:

  八氟環(huán)丁烷(C-318)是一種無色無味不可燃的氣體。質(zhì)量指標(biāo):八氟環(huán)丁烷含量(質(zhì)量分?jǐn)?shù))99.990%-99.999%,氧含量(體積分?jǐn)?shù))0.002%,水含量≤0.001% 物性參數(shù)沸點(diǎn):-5.85,熔點(diǎn):-41.4,液體密度(25):1.62g/cm3。本產(chǎn)品主要用于食品工業(yè)的噴射劑、制冷劑,集成電路蝕刻劑,與六氟化硫混合作電解質(zhì)、含氟化合物聚合時(shí)的介質(zhì)。

 

A colorless,nonflammable,liquefied gas.(一種無色、不燃、液化氣體)
Formula(分子式):C4F8
Molecular weight(分子量)200.03
Boiling point(沸點(diǎn)):-5.8,-21.56°F;
Melting point(融點(diǎn)):-40.2,-40.36°F.
Vapor Pressure(蒸汽壓):170Kpa(21.1);25Psia(70°F)
Specific Volume(比容)0.12m3/kg(21.1,101.325KPa)
1.85ft3/lb(70°F,14.696psia)
UN Number(UN號(hào)碼)UN1976
DOT Classification(DOT類別)2.2(Nonflammable Gas)(不燃?xì)怏w)
DOT Label(DOT標(biāo)簽)NON-FLAMMABLE GAS(不燃?xì)怏w)
Cylinder Connection(鋼瓶接口)CGA/DISS/JIS--660/716/W22-14L
Grsde(級(jí)別)5N
Purity(純度)99.999
Guaranteed Specification(保證規(guī)格)

Impurity(非組分)

Specification(標(biāo)準(zhǔn))

Oxygen(氧)+ Nitrogen(氮)+ Carbon Monoxide(一氧化碳)

≤5 ppmv

Carbon Dioxide(二氧化碳)

≤1 ppmv

Carbon Tetrafluoride(四氟化碳)

≤5 ppmv

Water(水)

≤3 ppmv

Acidity as HF(酸性物,如氟化氫)

≤0.1 ppmv

 

Cylinder Size(liter)鋼瓶體積(升)

Content(Kg,lbs)氣含量(公斤,磅)

43.8

50,110

 


應(yīng)用:刻蝕氣體/等離子刻蝕

 

八氟環(huán)丁烷用途:

  用作半導(dǎo)體設(shè)備等的生產(chǎn)工藝中的蝕刻或清潔氣體。

包裝和貯存:八氟環(huán)丁烷鋼瓶的充裝值為1.296kg/L。鋼瓶閥門關(guān)緊后再蓋緊悶頭和鋼瓶蓋,以防泄漏。鋼瓶運(yùn)輸中應(yīng)避免震蕩,鋼瓶堆放在通風(fēng)、干燥、安全處,并遠(yuǎn)離熱源。

注意事項(xiàng):當(dāng)該產(chǎn)品濃度達(dá)到使空氣中的氧含量減少至低于19.5%,會(huì)導(dǎo)致窒息;救援人員要佩帶自給式呼吸器;接觸該產(chǎn)品會(huì)導(dǎo)致凍傷.

 

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